氦氖激光器作为气体激光器的典型代表，凭借其相干性好、稳定性高、寿命长等特性，被广泛应用于科研、医疗、工业测量、全息成像等领域。随着技术应用的深入，其性能指标对终端设备的精度和可靠性影响日益显著。为确保氦氪激光器满足设计要求和使用场景需求，系统性检测成为生产、维护及质量控制的核心环节。检测内容需覆盖光学性能、机械结构、电气特性和环境适应性等多个维度，并严格遵循行业标准，以保障激光器输出功率、波长稳定性、光束质量等关键参数符合规范。
1. 输出功率检测：通过功率计测量激光器在额定工作条件下的输出功率，验证其是否达到标称值，并评估长期运行的衰减情况。
2. 波长与谱线宽度检测：利用光谱分析仪测定激光波长（通常为632.8nm），确认谱线偏移范围及单色性是否符合标准。
3. 光束质量分析：包括光束发散角、M²因子（光束传播因子）和光斑均匀性测试，确保光束空间分布满足应用需求。
4. 模式稳定性检测：观测激光输出模式（如TEM00模）的稳定性，评估工作电流、温度波动对模式的影响。
5. 寿命与可靠性测试：通过加速老化实验评估激光管寿命，监测气体泄漏率和阴极性能退化情况。
6. 电气安全性检测：包括高压电源绝缘性、接地电阻以及电磁兼容性（EMC）测试，确保设备符合安全规范。
1. 功率测量法：采用校准过的硅光电二极管或热释电功率计，配合衰减片组进行多量程精确测量，避免传感器饱和。
2. 干涉仪波长校准：利用迈克尔逊干涉仪或法布里-珀罗干涉仪对激光波长进行高精度标定，分辨率可达0.001nm。
3. 光束轮廓扫描：通过CCD相机或刀口法扫描光斑强度分布，计算光束直径和M²因子，使用ISO11146标准算法处理数据。
4. 模式识别技术：采用共焦扫描法或远场成像法分析激光模式，结合图像处理软件自动识别模式纯度。
5. 环境适应性测试：在温湿度试验箱中模拟-10℃至50℃工作环境，监测输出功率波动和起辉电压变化。
1. 国际标准：IEC 60825-1（激光产品安全要求）、ISO 13694（激光束功率密度分布测试方法）。
2. 国家标准：GB/T 15175-2012（气体激光器测试方法）、GB 7247.1-2012（激光设备辐射安全标准）。
3. 行业规范：SEMI S2（半导体设备安全准则）、ANSI Z136.1（激光安全使用标准）。
4. 企业标准：根据具体应用场景制定的出厂检验规程，通常要求功率波动≤±3%、波长偏差＜±0.1nm、光束发散角≤1.5mrad。
执行检测时应建立完整的质量追溯体系，记录初始参数、测试环境条件和校准设备信息。对于医用激光器还需符合FDA 21 CFR 1040.10等特殊规范，工业用激光器则需满足CE认证的EMC指令要求。定期比对实验室间检测结果，可有效保证检测体系的可信度和一致性。
